Hitachi_S4800-SEM操作步骤
上传者：贾雪琴|上传时间：2015-05-10|密次下载
Hitachi_S4800-SEM操作步骤
扫描电镜,SEM,日立,Hitachi
Hitachi S4800操作手册
1. 装样（需戴手套）
样品用导电胶带固定在样品台上 ? 样品台固定在螺丝上（需旋到底） ? 螺丝固定在底座 （螺丝的末端不能超出底座的下表面）
? 样品的上表面应低于标准高度的下表面
2. 进样
确认Z ＝ 8.0 mm ? 按下AIR键(一声蜂鸣，灯常绿) ? 拔出交换舱 ? 旋转传送杆UNLOCK（顺时针转到不动）? 取下旧样品台 ? 插入新样品台，并LOCK样品台（逆时针转到底）? 将传送杆向右拔到底
关闭交换舱（按紧）? 按下EVAC键，对交换舱抽真空 ? 按下OPEN键，开启SEM chamber闸门(一声蜂鸣，灯常绿)
将样品台送入chamber （传送杆推到底）? UNLOCK（顺时针转到底）? 将传送杆完全拔出? 拉住传送杆，同时按下CLOSE键, 直至听到关闸声。
3. SEM测试
等待真空度﹤1×10-3 Pa （Help → Maintenance → PeG-1）? 选择高压值VACC (5.0\10.0 kV) ? HV(ON) ? OK
束斑对中：点击H/L切换到LM模式 ? 找到样品（倍数> 50 k） ? 单击Align出现Alignment窗口 ? 选择Beam Align ? 调节旋钮盘STIGMA / ALIGNMENT的X和Y旋钮，使亮斑置于圆环中心
停Wobble：选择Aperture Align ? 依次用X,Y调至图像不摇摆同心收缩不摆动 ? Close
消像散：点击H/L切换到HM模式 ? 高倍聚焦（“FOCUS-COARSE”粗聚焦，“FOCUS-FINE”）? 调节旋钮盘STIGMA / ALIGNMENT的X和Y旋钮，消除像散以获得清晰的图像。
快扫：Run ? TV1 ? ABC（自动调节图象） 【扫速：TV1 ? CCS1 ? CCS3】 拍照：CCS3 ? ABC? Save （Folder设定存储位置，Image name设定前缀名，Quick Save No. 前缀之后自动编号）
4. 退出SEM测试
关闭高压HV(ON) ? 点击HOME（等待绿色指示条停止闪烁，样品台恢复至初始位置。）? 能谱探头摇出约2cm （看到标尺上的6即可）? STAGE LOCK（灯灭）? 确认Z = 8.0 mm / Tilt = 0.0
5. 取样
确认4步条件都满足 ?按下OPEN键，开启SEM chamber闸门(一声蜂鸣，灯常绿) ? 将传送杆推入chamber ? LOCK（顺时针转到底）? 将传送杆完全拔出 ? 拉住传送杆，同时按下CLOSE键, 直至听到关闸声
? 按下AIR键(一声蜂鸣，灯常绿) ? 拔出交换舱 ? 旋转传送杆UNLOCK（顺时针转到不动）? 取下样品台
6. 数据传输：CuteFTP?Connect?右键?Property 【192.168.88.100】caiduanjun (1234) FTP 地址：59.77.32.189
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