翻新时间:2013-12-18
光谱仪的微小型化
光谱仪的微小型化 光谱仪的微小型化 光谱仪的微小型化引言
微光学、微电子、微机械的结合产生出一类新的应用范围很广的器件——微型光机电系统(MOEMS),它也是机、电、光、磁、化学、传感技术等多种技术的综合。MOEMS日益成为新的光学工具,已经对许多基于光学的仪器显示出应用前景。作为MOEMS的一种,微型光谱分析仪具有许多大型光谱仪所不具备的优点,如重量轻、体积小、探测速度快、使用方便、可集成化、可批量制造以及成本低廉等,像普通光谱仪一样微型光谱仪有着巨大的应用市场,可以应用在实验室化学分析、临床医学检验、工业监测、航空航天遥感等领域,因而引起了人们广泛的兴趣。
微型光谱仪的实现可以应用多种技术,目前常用的方法包括:采用新型滤光技术制作微型光谱仪;利用光纤的化学传感性制成光纤探针进行光谱分析;使用微细加工制作集成式微型光谱仪等。
2采用新型滤光技术的微型光谱仪
声光可调滤光片(AOTF)是一种微型窄带可调滤光片,是光谱仪微型化的一个发展方向,它通过改变施加在某种晶体上的射频频率来改变通过滤光片的光波长,而通过AOTF光的强度可利用改变射频的功率进行精密、快速的调节。它的分辨率很高,目前可以达到0.0125nm,没有可动部件,波长调节速度快、灵活性高。
美国Brimrose公司和Jet Propulsion实验室联合设计一种微型电晶体NIR光谱仪。这种基于AOTF的反射型近红外微型光谱仪主要造用于航天领域,使用发光二极管(LED)阵列作为光源,光纤作为光波传输介质,该光谱仪重量<250克,尺寸小9.2×5.4×3.2cm,超快速(4000波长/秒),高可靠性并经过美国国防核子局的防辐射测试。
美国Hughes Santa Mara研究中心研制的线性楔形光谱仪(专利产品),是由一个微小模状滤光片和一个阵列检测器组成,可以对多个光谱频带进行检测。模形光谱仪内有一个模形的多层薄膜介电材料构成的干扰滤光片,滤光片与两维检测器紧临,这样根据滤光片在不同位置的带通,每一列检测器可以接收不同光谱波段的能量,所以单独一个模形光谱仪可以覆盖很宽的光谱范围。模形光谱仪的光谱范围受到滤光片、探测器材料特性的限制,还需要使用多种阻挡滤光片。工作光谱范围分布在可见光和近红外区(从400nm到1030nm)。该光谱仪在实验中还获得了线性色散率,色散率与点带宽无关,而且滤光片可以根据检测器阵列设计成不同的几何形状。
3利用光纤制作的微型光谱仪
光纤传感器的主要特点是具有很高的传输信息容量,可以同时反映出多元成分的多维信息,并通过波长、相位、衰减分布、偏振和强度调制、时间分辨、收集瞬时信息等来加以分辨,真正实现多道光谱分析和复合传感器阵列的设计,达到复杂混合物中特定分析对象的检测,这对电传感器和声传感器而言是望尘莫及的。光纤的探头直径可以小到与其传播的光波波长属于同一数量级,这样小巧的光纤探头可以直接插入那些非整直空间和无法采样的小空间(如活体组织、血管、细胞)中,对分析物进行连续检测。
Ocean Optics公司的Michael J.Morris等人研制一种紧凑级联光纤DIP探针微小光谱仪,该系统的设计是使用单股光纤以获得高分辨率光谱信息,对于决定液体的吸收、发射和散射,或测量pH或有毒金属浓度使用固定指示材料。光谱仪的模式限制光学设计得到很高的光通量,常规应用中可以使用50μm的光纤。
微型光纤光谱仪还有美国Stwen christesen等人研制的便携式光纤拉曼光谱仪,便携式光纤拉曼光谱仪可以对化学试剂鉴定盒进行非接触分析,它包括二极管激光器、中阶梯摄谱仪、电荷桐合器件(CCD)检测器和一个带有滤光涂层的光纤探针,这种光谱仪被用来分析密封玻璃容器中的化学试剂和其它有毒化学物。拉曼光谱是通过使用一个带有25m光纤的EICRamanProbe探针获得的。探针输出功率在紫翠玉激光器下为80mW,而二极管激光器为137nW。这种微型拉曼光谱仪也可以用T单个活细胞的分析。
4集成微型光谱仪
利用MEMS和MOEMS的微加工技术也可以制作出微型光谱仪。Gayiin M.Yee等人利用微机械加工方法直接在CCD成像器件上制作衍射光栅构成集成式微型光谱仪,得到的光谱仪系统衍射效率可以达到63%,色散率为1.7mm/像元,分辨率为74.4。
5结论
由于光谱仪的结构特点以及光谱仪广泛的应用领域,在微小光谱仪的研究中可以采用多种方法和多种思路。比如改善AOTF的波长覆盖范围、波长分辨率和通光本领,可以使它能应用于各种光谱化学分析,而用这样的元件可以制成结构简单、性能良好、成本低廉的光谱仪,或者使用分辨率较高的中阶梯光栅,与一般棱镜结合,进行交叉色散,可以得到分辨率很高的二维光谱图,所以可以根据微小光谱仪的本身特点和工作环境要求来进行设计。
微加工技术的发展以及MEMS、MOEMS的出现使许多学科技术的研究都朝着微惊讶及微小型化的方向发展,更需要一些特殊条件下(如外星、地下、深海、危险区等)的工作仪器。光谱仪在未来的新世纪必将出现高度智能化和微型化的趋势,微型光谱仪可以说是微型仪器的一种。微型仪器实际上是具有仪器功能的MEMS/MOEMS产品,是MEMES技术的实际应用。微型仪器的核心技术之一是微型传感技术,采用各种新原理、新概念的各类传感器是实现微型仪器的关键和必要条件。现在仪器朝着微小型化、智能化的发展使我们又面临一个新的考验,也是我们发展的一个机遇。
下载文档
网友最新关注
- 俄卫星发生史上首次太空相撞
- 何克服考前紧张情绪
- 山风景区的变化
- 心目中理想的老师
- 躲猫猫”英语怎么说?
- 次有意义的活动
- 吉尼斯世界纪录的看法
- 市里养宠物合适吗?
- 给中学老师的感谢信
- 考英语写作的七项基本原则 2
- 北方旱情
- 对大学生的看法
- 业生的择业观
- 要不要修地铁
- 大学后是否应经济独立?
- 公司双文明建设考核细则
- 某矿务集团住房公积金管理办法
- 油田,煤矿企业员工安全职责集合
- 教学调度和教学纪律规范
- 职能部门HSE职责实施计划
- 煤矿井下职工行为规范及考核办法
- 关于申报专业技术资格的管理规定
- 省地勘局公文处理办法
- 农场场务公开实施细则
- HSE职责实施计划
- 公司企业人事管理制度
- 工人岗位安全环保职责汇编
- 公司管理规章制度范本
- 产品管理办法规章制度
- 县新型农村合作医疗管理办法
- 制定绿地灌溉制度的原则
- 给排水专业的工程师的知识水平
- 灌溉排水百问百答
- 生活饮用水二次污染的原因与防治措施
- 浅谈室外给水管道工程设计
- 无规共聚聚丙烯管材在建筑给水中的应用探讨
- 应大力建设生态居住区水环境系统
- 多水箱加压系统分析
- 总硬浓缩倍数概念在循环冷却水水质监控中的运用初探
- 给水管道水压试验中的力学关系
- 二十一世纪的建筑给排水
- 大口径水表实时监测的应用效果分析
- 住宅建筑给水排水设计
- 黄山景区实现污水处理达标排放
- 论建筑给排水发展趋势
- 《小伙伴》教学设计
- 《四季》教学设计二
- 《棉花姑娘》教学设计
- 《两只鸟蛋》教学设计
- 《王二小》教学设计
- 《雪地里的小画家》教学设计及评点
- 《称象》教学设计
- 《四季》教学设计
- 《我要的是葫芦》第二课时教学设计
- 《吃水不忘挖井人》教学设计
- 《胖乎乎的小手》教案设计
- 《月亮的心愿》教案
- 《画》教学设计一
- 《四季》教学设计
- 《手捧空花盆的孩子》教学设计