掺铝氧化锌薄膜的光学性能研究
翻新时间：2013-12-18
掺铝氧化锌薄膜的光学性能研究
掺铝氧化锌薄膜的光学性能研究
从大量的制备ZAO薄膜实验数据中，分析直流磁控溅射制备工艺参数对ZAO薄膜性能的影响，总结出最佳制备工艺参数: 靶基距为7cm，沉积工作压强保持为0.5Pa,然后调节氧氩分压比为1%，加热玻璃基片到200 oC，以150W左右的溅射功率进行直流反应磁控溅射15min左右，最后在真空环境中退火处理1小时，退火温度为200oC。在最佳工艺条件下制备出的ZAO薄膜的主要性能为:膜厚在600nm左右，可见光区平均透射率为89.2%，光学性能能满足使用的需求。
本论文主要从薄膜的结构、光学特性变化的机理入手，为进1步全面研究ZAO薄膜的制备、结构特性、光学特性打下了坚实的基础，也对ZAO薄膜的实际应用具有积极意义。
关键词：ZAO薄膜，直流磁控溅射，可见光透射率，光学性能
The Al-doped ZnO(ZAO) thin film optical properties research
Keywords : ZAO film, DC magnetron sputtering, visible light transmittance, optical properties
..........................
下载文档
版权声明：此文档由查字典文档网用户提供，如用于商业用途请与作者联系，查字典文档网保持最终解释权！
网友最新关注
- 我受到了教育
- 好书伴我成长《鲁宾逊漂流记》
- 发生在班里的一件事
- 《学会生存》读后感
- 家乡美景
- 梧桐树的故事
- 戒电脑游戏
- 保护环境人人有责
- 爷爷我想对你说
- 文明之花正在开放
- 小猫小狗和老虎打羽毛球
- 我的假期生活
- 我最喜欢的一件工艺品
- 我的寒假生活
- 小黄柿子
- 英语演讲稿:绿色奥运见行动
- 英语演讲稿:绿色北京绿色奥运
- 英语演讲:我最喜爱的明星
- 中学生英语演讲:梦想成真
- 迎奥运演讲稿:行动起来，为北京添彩
- My definition of success
- 英语演讲:人生价值何在
- 英语演讲文章:享受生活 不忘使命
- The speech about lenovo
- 英文演讲:我们该选择死亡吗？
- 奥运演讲稿:绿色奥运我参与
- 如何准备英语演讲稿
- 英语演讲稿:人类奥运，绿色庆典
- 英语演讲稿:缘 (中英文对照)
- 英语演讲:绿色奥运，绿色北京，你我同行
- 【环保论文】_LED论文,新能源论文,低碳论文
- 【环保论文】_LED论文,新能源论文,低碳论文
- 【环保论文】_LED论文,新能源论文,低碳论文
- 【环保论文】_LED论文,新能源论文,低碳论文
- 【环保论文】_LED论文,新能源论文,低碳论文
- 【环保论文】_LED论文,新能源论文,低碳论文
- 【环保论文】_LED论文,新能源论文,低碳论文
- 【环保论文】_LED论文,新能源论文,低碳论文
- 【环保论文】_LED论文,新能源论文,低碳论文
- 【环保论文】_LED论文,新能源论文,低碳论文
- 【环保论文】_LED论文,新能源论文,低碳论文
- 改善LED散热性能的相关途径(1)论文
- 【环保论文】_LED论文,新能源论文,低碳论文
- 【环保论文】_LED论文,新能源论文,低碳论文
- 【环保论文】_LED论文,新能源论文,低碳论文
- 荷花淀 教案示例 二
- 窦娥冤
- 外国诗四首
- 中国当代诗四首
- 故都的秋
- 离骚（节选）
- 雷雨（节选）
- 装在套子里的人
- 赤壁赋
- 假如给我三天光明
- 窦娥冤
- 祝福
- 边城（节选）
- 中国现代诗四首
- 汉魏晋五言诗三首