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【环保论文】_LED论文,新能源论文,低碳论文

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翻新时间:2013-12-18

【环保论文】_LED论文,新能源论文,低碳论文

编者点评:MOCVD的现状折射出整个工业现状及工业的基础问题。实际上发展LED产业与半导体业十分相近,从一开始就都卡在设备上。

设备占产业的比重大,半导体占70%,但是国产的设备总差一步,只能历年进口,导致费用大及技术总卡在别人手中。国内试图攻关,突破此等思路是积极的,但是至少目前的结果还是不太理想。

有人认为设备与工艺脱节、资金分散等原因,都是正确的,但是可能把问题的难度低估了。国际上通常研发费用是销售额的10倍计,即一台MOCVD1500万元的话,至少应投入1。

5亿元,但是到中国的情况肯定不够。因为有个工业基础,包括市场容量、品质、品牌及思维等各个方面,并非一朝一夕很快就能实现国产化,所以这样的现状并不能全由设备厂来承担。

近几年中,电子装备已有很好的进步,如太阳能电池制造中有部分设备已能实现国产化。然而,任重而道远,需要从现在起改变思维,我们制造的设备是为了满足客户能生长出质量好的LED外延片,即把工艺要求转化成设备的刚性指标。

能够在产品的质量、可靠性、成本及量产等综合性能方面与国外设备可比照。同样的情况在薄膜太阳能电池的CVD设备中。

第十一届全国MOCVD学术会议于2010年1月12日在江苏苏州召开,为期2天,会议上跟许多专家和学者进行了交流,本次MOCVD探讨的主要应用集中在LED,太阳能/激光器方面的应用也不少。国内MOCVD的总体感觉是:关注的人多,做的人少。

我国MOCVD发展有喜有忧 目前我国在外延生长制造方面取得长足发展,在不同衬底(Al2O

3、Si、SiC、AiN)上外延生长GaN材料,已开发出图形化衬底外延、非极性或半极性外延等,提高内量子效率和外量子效率方面,取得很好的研究成果,已经研发出AlGaN深紫外(260nm-400nm)发光二极管,开发出1W的LED蓝光芯片,做成白光的LED发光效率超过80lm/W,并研制出4元系AlGaInP红光功率LED器件,发光效率约40lm/W,南昌大学研制出有自主知识产权的硅衬底生长GaN,并做出蓝、绿LED芯片。 尽管如此,我们看到在LED核心外延设备MOCVD方面仍处于早期发展阶段,在2008年我国有135台生产用MOCVD设备,2009年MOCVD设备将增加100台左右,但遗憾的是,这其中大部分依赖进口,当中很少采用国产设备,武汉迪源光电科技公司总经理董志江表示,“目前用于照明用大功率的特性衬底技术、加工稳定性以及对外延效率的提升率与国外相比,差距逐渐缩小,但是目前生产性外延设备仍主要依赖进口,大陆市场仍缺乏竞争性的国产设备。

” 我们发现,尽管我们国家早在上世纪80年代就开始研制MOCVD设备,但大都是推出样机后便音信全无,这其中有多方面的原因。一部分专家认为,投资比较分散、无法形成合力,缺乏市场化运作模式是国产MOCVD设备迟迟无法量产的根本性原因。

不过在本次会议上我们可喜地看到上游原材料以及MOCVD设备已经有厂家或单位生产,例如江苏南大研制的MO源已经获得广泛应用,中科院半导体所(7×2”)、华中科技大学(与昭信集团合作)都宣布研制出新的自主生产型的MOCVD设备(但都无导入量产),在此之前,青岛杰生光电和西安电子科技大学也研制出单片、3×2”和6×2”的MOCVD设备,同时也有不少单位对MOCVD设备的研制表现了浓厚的兴趣,看得出,许多人已经认识到MOCVD国产设备的缺失所带来的挑战和巨大商机。 研制MOCVD设备应集中各种资源 在本次会议上,多位专家和业内人士发表了他们对研制国产MOCVD设备的看法,中科院西安光机所高鸿楷研究员认为,MOCVD设备的制造

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