牛津仪器EBSD新技术及应用介绍
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牛津仪器EBSD新技术及应用介绍
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20141215南大微束分析培训会
牛津仪器EBSD新技术及应用介绍
杨小鹏
牛津仪器·纳米分析部
精确
灵活
快速
创造
强大
© Oxford Instruments 2014 CONFIDENTIALPage 1
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?NordlysMax2
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?高速EBSD，适合做EBSD面分布图高速、高灵敏度实测速度最高达870点/秒
适合钨灯丝电镜和热场发射电镜WNi?NordlysNano
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?高角度分辨EBSD，适合做相鉴定低束流、高灵敏度、高角度分辨率高空间分辨率，适合分析纳米材料磷屏分辨率达1344x1024像素适合冷场发射电镜实测870点/秒，99%标定率
为优化空间分辨率，在5KV条件下采集CONFIDENTIALPage 2© Oxford Instruments 2014
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?牛津仪器的目标：深入了解并服务于市场
?有何机遇与挑战？解决方案有效/无效？?我们怎么改进产品以满足这些需求？?
?
?
?
??EBSD要用好并不容易对样品要求高，制样难难于操作（参数复杂）难于获得准确的标定，慢数据后处理功能不足
EBSD数据如何与实际的材料问题联系起来？?材料学
?晶体学
?机械物理性能
CONFIDENTIALPage 3© Oxford Instruments 2014
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?AZtec平台开始于2011年
?早期产品Channel 5?最新产品AZtec2.4，主要的新功能
改善了EBSD采集和标定算法
相机、背底校正和系统校正改进的标定算法Tru-I
TruPhase标定模式
精修角度分辨率模式
TKD模式
EDS和EBSD的结合
点分析
线扫描?AZtec平台的驱动因素:?
?
?
?数据采集更直接、可靠、有效优化的速度和准确度可重复的数据质量
优化与EDS的结合
CONFIDENTIAL© Oxford Instruments 2014 Page 4
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取点采集花样图像处理及菊池带识别输出相及取向结果© Oxford Instruments 2014 校对并给出标定结果CONFIDENTIAL与数据库进行相及取向的比Page 5
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