Hitachi_S4800-SEM操作步骤

上传者：贾雪琴
|
上传时间：2015-05-10
|
密次下载

Hitachi_S4800-SEM操作步骤

扫描电镜,SEM,日立,Hitachi

Hitachi S4800操作手册

1. 装样（需戴手套）

样品用导电胶带固定在样品台上 ? 样品台固定在螺丝上（需旋到底） ? 螺丝固定在底座（螺丝的末端不能超出底座的下表面）

? 样品的上表面应低于标准高度的下表面

2. 进样

确认Z ＝ 8.0 mm ? 按下AIR键(一声蜂鸣，灯常绿) ? 拔出交换舱 ? 旋转传送杆UNLOCK（顺时针转到不动）? 取下旧样品台 ? 插入新样品台，并LOCK样品台（逆时针转到底）? 将传送杆向右拔到底

关闭交换舱（按紧）? 按下EVAC键，对交换舱抽真空 ? 按下OPEN键，开启SEM chamber闸门(一声蜂鸣，灯常绿)

将样品台送入chamber （传送杆推到底）? UNLOCK（顺时针转到底）? 将传送杆完全拔出? 拉住传送杆，同时按下CLOSE键, 直至听到关闸声。

3. SEM测试

等待真空度﹤1×10-3 Pa （Help → Maintenance → PeG-1）? 选择高压值VACC (5.0\10.0 kV) ? HV(ON) ? OK

束斑对中：点击H/L切换到LM模式 ? 找到样品（倍数> 50 k） ? 单击Align出现Alignment窗口 ? 选择Beam Align ? 调节旋钮盘STIGMA / ALIGNMENT的X和Y旋钮，使亮斑置于圆环中心

停Wobble：选择Aperture Align ? 依次用X,Y调至图像不摇摆同心收缩不摆动 ? Close

消像散：点击H/L切换到HM模式 ? 高倍聚焦（“FOCUS-COARSE”粗聚焦，“FOCUS-FINE”）? 调节旋钮盘STIGMA / ALIGNMENT的X和Y旋钮，消除像散以获得清晰的图像。

快扫：Run ? TV1 ? ABC（自动调节图象）【扫速：TV1 ? CCS1 ? CCS3】拍照：CCS3 ? ABC? Save （Folder设定存储位置，Image name设定前缀名，Quick Save No. 前缀之后自动编号）

4. 退出SEM测试

关闭高压HV(ON) ? 点击HOME（等待绿色指示条停止闪烁，样品台恢复至初始位置。）? 能谱探头摇出约2cm （看到标尺上的6即可）? STAGE LOCK（灯灭）? 确认Z = 8.0 mm / Tilt = 0.0

5. 取样

确认4步条件都满足 ?按下OPEN键，开启SEM chamber闸门(一声蜂鸣，灯常绿) ? 将传送杆推入chamber ? LOCK（顺时针转到底）? 将传送杆完全拔出 ? 拉住传送杆，同时按下CLOSE键, 直至听到关闸声

? 按下AIR键(一声蜂鸣，灯常绿) ? 拔出交换舱 ? 旋转传送杆UNLOCK（顺时针转到不动）? 取下样品台

6. 数据传输：CuteFTP?Connect?右键?Property 【192.168.88.100】caiduanjun (1234) FTP 地址：59.77.32.189

下载文档

网友关注

重庆公务员行测每日一练判断推理练习题答案01.31

重庆公务员面试每日一练结构化面试模拟题1.31

重庆公务员行测每日一练言语理解练习题01.18

重庆公务员面试每日一练结构化面试模拟题1.29

重庆公务员面试每日一练结构化面试模拟题1.25

重庆公务员行测每日一练数量关系练习题答案01.30

重庆公务员面试每日一练结构化面试模拟题答案1.19

重庆公务员面试每日一练结构化面试模拟题答案1.26

重庆公务员面试每日一练结构化面试模拟题1.18

重庆公务员面试每日一练结构化面试模拟题答案1.25

重庆公务员面试每日一练结构化面试模拟题1.30

重庆公务员行测每日一练数量关系练习题01.19

重庆公务员申论每周一练：解除担责医生后顾之忧

重庆公务员行测每日一练数量关系练习题01.30

重庆公务员面试每日一练结构化面试模拟题1.16

重庆公务员面试每日一练结构化面试模拟题1.26

重庆公务员面试每日一练结构化面试模拟题1.23

重庆公务员申论每周一练答案：解除担责医生后顾之忧

重庆公务员面试每日一练结构化面试模拟题1.24

重庆公务员行测每日一练资料分析练习题答案01.23

重庆公务员行测每日一练资料分析练习题01.23

重庆公务员面试每日一练结构化面试模拟题答案1.29

重庆公务员面试每日一练结构化面试模拟题答案1.24

重庆公务员行测每日一练判断推理练习题答案01.22

重庆公务员行测每日一练数量关系练习题答案01.19

重庆公务员面试每日一练结构化面试模拟题答案1.31

2018重庆公务员考试面试热点模拟题：“节后空巢症”怎么治？

重庆公务员面试每日一练结构化面试模拟题1.19

重庆公务员行测每日一练判断推理练习题01.22

重庆公务员行测每日一练言语理解练习题01.29

网友关注视频

苏科版数学八年级下册9.2《中心对称和中心对称图形》

苏科版数学八年级下册第八章第二节可能性的大小

外研版英语七年级下册module3 unit2第一课时

北师大版八年级物理下册第六章常见的光学仪器（二）探究凸透镜成像的规律

冀教版小学数学二年级下册第二单元《有余数除法的简单应用》

七年级英语下册上海牛津版 Unit5

【部编】人教版语文七年级下册《逢入京使》优质课教学视频+PPT课件+教案，安徽省

沪教版牛津小学英语（深圳用）五年级下册 Unit 10

冀教版小学英语四年级下册Lesson2授课视频

沪教版牛津小学英语（深圳用）五年级下册 Unit 7

精品·同步课程历史八年级上册第15集近代科学技术与思想文化

六年级英语下册上海牛津版教材讲解 U1单词

沪教版牛津小学英语（深圳用）四年级下册 Unit 12

化学九年级下册全册同步人教版第18集常见的酸和碱（二）

青岛版教材五年级下册第四单元（走进军营——方向与位置）用数对确定位置（一等奖）

《小学数学二年级下册》第二单元测试题讲解

19 爱护鸟类_第一课时(二等奖)(桂美版二年级下册)_T502436

8.练习八_第一课时(特等奖)(苏教版三年级上册)_T142692

第五单元民族艺术的瑰宝_16. 形形色色的民族乐器_第一课时(岭南版六年级上册)_T3751175

沪教版八年级下册数学练习册21.4（1）无理方程P18

【部编】人教版语文七年级下册《过松源晨炊漆公店（其五）》优质课教学视频+PPT课件+教案，江苏省

沪教版八年级下册数学练习册21.3（2）分式方程P15

【获奖】科粤版初三九年级化学下册第七章7.3浓稀的表示

外研版八年级英语下学期 Module3

北师大版数学四年级下册第三单元第二节小数点搬家

【部编】人教版语文七年级下册《逢入京使》优质课教学视频+PPT课件+教案，安徽省

每天日常投篮练习第一天森哥打卡上脚 Nike PG 2 如何调整运球跳投手感？

冀教版小学数学二年级下册第二周第2课时《我们的测量》宝丰街小学庞志荣.mp4

冀教版小学数学二年级下册第二单元《租船问题》

冀教版英语三年级下册第二课

精品推荐

营造良好的企业文化

分类导航

生物学

贾雪琴

此文档贡献者

2015-05-10
贡献时间
密
下载次数

教育资源为主的文档平台

文档分类