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Hitachi_S4800-SEM操作步骤

上传者:贾雪琴
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上传时间:2015-05-10
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Hitachi_S4800-SEM操作步骤

扫描电镜,SEM,日立,Hitachi

Hitachi S4800操作手册

1. 装样(需戴手套)

样品用导电胶带固定在样品台上 ? 样品台固定在螺丝上(需旋到底) ? 螺丝固定在底座 (螺丝的末端不能超出底座的下表面)

? 样品的上表面应低于标准高度的下表面

2. 进样

确认Z = 8.0 mm ? 按下AIR键(一声蜂鸣,灯常绿) ? 拔出交换舱 ? 旋转传送杆UNLOCK(顺时针转到不动)? 取下旧样品台 ? 插入新样品台,并LOCK样品台(逆时针转到底)? 将传送杆向右拔到底

关闭交换舱(按紧)? 按下EVAC键,对交换舱抽真空 ? 按下OPEN键,开启SEM chamber闸门(一声蜂鸣,灯常绿)

将样品台送入chamber (传送杆推到底)? UNLOCK(顺时针转到底)? 将传送杆完全拔出? 拉住传送杆,同时按下CLOSE键, 直至听到关闸声。

3. SEM测试

等待真空度﹤1×10-3 Pa (Help → Maintenance → PeG-1)? 选择高压值VACC (5.0\10.0 kV) ? HV(ON) ? OK

束斑对中:点击H/L切换到LM模式 ? 找到样品(倍数> 50 k) ? 单击Align出现Alignment窗口 ? 选择Beam Align ? 调节旋钮盘STIGMA / ALIGNMENT的X和Y旋钮,使亮斑置于圆环中心

停Wobble:选择Aperture Align ? 依次用X,Y调至图像不摇摆同心收缩不摆动 ? Close

消像散:点击H/L切换到HM模式 ? 高倍聚焦(“FOCUS-COARSE”粗聚焦,“FOCUS-FINE”)? 调节旋钮盘STIGMA / ALIGNMENT的X和Y旋钮,消除像散以获得清晰的图像。

快扫:Run ? TV1 ? ABC(自动调节图象) 【扫速:TV1 ? CCS1 ? CCS3】 拍照:CCS3 ? ABC? Save (Folder设定存储位置,Image name设定前缀名,Quick Save No. 前缀之后自动编号)

4. 退出SEM测试

关闭高压HV(ON) ? 点击HOME(等待绿色指示条停止闪烁,样品台恢复至初始位置。)? 能谱探头摇出约2cm (看到标尺上的6即可)? STAGE LOCK(灯灭)? 确认Z = 8.0 mm / Tilt = 0.0

5. 取样

确认4步条件都满足 ?按下OPEN键,开启SEM chamber闸门(一声蜂鸣,灯常绿) ? 将传送杆推入chamber ? LOCK(顺时针转到底)? 将传送杆完全拔出 ? 拉住传送杆,同时按下CLOSE键, 直至听到关闸声

? 按下AIR键(一声蜂鸣,灯常绿) ? 拔出交换舱 ? 旋转传送杆UNLOCK(顺时针转到不动)? 取下样品台

6. 数据传输:CuteFTP?Connect?右键?Property 【192.168.88.100】caiduanjun (1234) FTP 地址:59.77.32.189

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