XPS Atomic Sensitivity Factors
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XPS Atomic Sensitivity Factors
电子能谱(Electron Spectroscopy)
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第二章 X射线光电子能谱(XPS)
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电子能谱(Electron Spectroscopy)
XPS Atomic Sensitivity Factors:
Z Name Level ASF Level ASF Level ASF Level ASF Level ASF Level ASF Level ASF 1
2 H He
3 Li 1s 0.02 4 Be 1s 0.059 5 Be 1s 0.13 6 C 1s 0.25 7 N 1s 0.42 8 O 1s 0.66 2s 0.025 9 F 1s 1 2s 0.04 10 Ne 1s 1.5 2s 0.07 11 Na 1s 2.3 2s 0.13 12 Mg 1s 3.5 2s 0.2 2p 0.12 13 Al 2s 0.23 2p 0.185 14 Si 2s 0.26 2p 0.27 15 P 2s 0.29 2p 0.39 16 S 2s 0.33 2p 0.54 17 Cl 2s 0.37 2p 0.73 18 Ar 2s 0.4 2p 0.96 19 K 2s 0.43 2p 1.24 20 Ca 2s 0.47 2p 1.58 21 Sc 2s 0.5 2p 1.65 22 Ti 2s 0.54 2p 1.8 3p 0.21 23 V 2p 1.95 3p 0.21 24 Cr 2p 2.3 3p 0.21 25 Mn 2p 2.6 3p 0.22 26 Fe 2p 3 3p 0.26 27 Co 2p 3.8 3p 0.35 28 Ni 2p 4.5 3p 0.5 29 Cu 2p 6.3 3p 0.65 30 Zn 2p3 4.8 3p 0.75 31 Ga 3d 0.31 3p 0.84 32 Ge 3d 0.38 3p 0.91 33 As 3d 0.53 3p 0.97 34 Se 3d 0.67 3p 1.05 35 Br 3d 0.83 3p 0.14 36 Kr 3d 1.02 3p 1.23 37 Rb 3d 1.23 3p 1.3 38 Sr 3d 1.48 3p 1.38 39 Y 3d 1.76 3p 1.47 40 Zr 3d 2.1 3p3 1.56 41 Nb 3d 2.4 3p3 1.1
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