精密干涉复习提纲
精密干涉传感技术及应用作业
一. 习题:
下图用泰曼格林干涉仪器测量凹面反射镜的面形M2。已知f1 f2 f3 100mm,
。 R 1000mm,mo 100mm,透镜O1,O2,O3距O点均为45mm,L' 110mm, 6328A
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求:
(1) 若希望干涉仪调出间隔为5mm,方向垂直于图面的直条纹,应如何调整,求出像
方三点位置:L1,L2,P,并在图上标出相对的位置?
(2) 若希望干涉仪调出同心圆环,第k 3环的圆环半径r 20mm,应如何调整?并求
出此时的像方三点位置:L1,L2,P,并在图上标出相对的位置?
1 (3)求出物方三点:L,P1,P2。决定入瞳的大小,形状。用何种光源最合适? (4)当用肉眼看干涉条纹时,眼应放在何处?为什么? (5)当用照相机拍摄干涉条纹时,照相机镜头应放在何处最好?
复习提纲
1.干涉系统与普通光学系统的瞳窗区别。像方三点、物方三点?
2.干涉系统中条纹的间隔和方向,三种情况(直、圆、弯曲)三种条纹形状?如何调出直、圆条纹,联系激光球面干涉仪测长(测曲率半径)测面形的调整方法。
3.了解光源谱线宽及光源大小对条纹对比度的影响,如何决定光瞳的形状?
4.如何根据被测对象确定干涉的照明系统?
5.干涉体系设计如何抗干扰及消除附加程差?
6.有几种共路干涉体系,它们的参考及检测波面是如何形成干涉的?
7.偏振干涉设计的原理及特点、应用?
8.如何消除非期望光线?
9.何谓光电匹配,比宽度?
10.
11. 掌握激光波面干涉仪的总体设计思想及测量原理。 激光干涉测长中为何用可逆计数及可逆计数原理,如何移相,常用的有几种移相方法?
12.
13.
14.
15. 测长中如何选择激光器? 测长中起点与终点定位的机械及光学定位方法、特点,白光定位的原理? 激光测振的原理,何为频比计数法? 激光外差干涉测长的特点、测长的原理、频差确定,放大器带宽如何确定?何谓交流干涉仪?
16.
17.
18. 激光数字波面干涉仪(也称条纹扫描干涉仪)的测量原理及特点? 何谓2 模糊,怎样来消除2 模糊? 激光平面干涉仪、干涉显微镜、数字波面干涉仪、雷尼绍干涉仪 分别可进行何种测量,其测量原理如何?
2
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